தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்:
| பொருள் | அளவுருக்கள் |
| மாதிரி | YY-E1G |
| அளவீட்டு வரம்பு (படம்) | 0.02~40கி/(சதுர மீட்டர்·24 மணிநேரம்)(படலங்கள் மற்றும் தாள்கள்) |
| மாதிரி அளவு | 1 |
| தீர்மானம் | 0.001 கி/(மீ²·நாள்) |
| மாதிரி அளவு | 108மிமீ×108மிமீ |
| சோதனைப் பகுதி | 50 செமீ² |
| சேமிப்பு தடிமன் | ≤3மிமீ |
| சோதனை முறை | ஒற்றை குழி |
| வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு வரம்பு | 5℃~65℃ (பிரித்தறியும் திறன் விகிதம் ±0.01℃) |
| வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் | ±0.1℃ |
| ஈரப்பதக் கட்டுப்பாட்டு வரம்பு | 0%RH, 35%RH, 90%RH, 100%RH |
| ஈரப்பதக் கட்டுப்பாட்டுத் துல்லியம் | ±1%RH |
| கேரியர் வாயு | 99.999% உயர் தூய்மை கொண்ட நைட்ரஜன் (காற்று ஆதாரம் பயனரால் வழங்கப்படுகிறது) |
| கேரியர் வாயு ஓட்டம் | 0~100மிலி/நிமிடம் (தானியங்கி கட்டுப்பாடு) |
| காற்று மூல அழுத்தம் | ≥0.28MPa/40.6psi |
| இடைமுக அளவு | 1/8″ |
| அளவுத்திருத்த முறை | நிலையான பட அளவுத்திருத்தம் |
| பரிமாணங்கள் | 350மிமீ (நீளம்) × 695மிமீ (அகலம்) × 410மிமீ (உயரம்) |
| எடை | 60 கிலோ |
| மின்னழுத்தம் | AC 220V 50Hz |