தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்:
| பொருள் | அளவுரு |
| சோதனை வரம்பு | 0.01~6500(cc/㎡.24h) |
| தீர்மான விகிதம் | 0.001 |
| ஊடுருவக்கூடிய மேற்பரப்புப் பகுதி | 50 c㎡ (மற்றவை தனிப்பயனாக்கித் தயாரிக்கப்பட வேண்டும்) |
| நுண்கருவின் விட்டத்தை அளவிடுதல் | 108*108மிமீ |
| சேமிப்பு தடிமன் | 3 மிமீ-க்கும் குறைவானது (தடிமனானால் துணைக்கருவிகளைச் சேர்க்க வேண்டும்) |
| மாதிரி அளவு | 1 |
| சோதனை முறை | சுயாதீன சென்சார் |
| வெப்பநிலை வரம்பு | 15℃ ~ 55℃ (வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டுக் கருவி தனியாக வாங்கப்பட வேண்டும்) |
| வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் | ±0.1℃ |
| கேரியர் வாயு | 99.999% உயர் தூய்மை கொண்ட நைட்ரஜன் (காற்று மூலப் பயனர்கள்) |
| கேரியர் வாயு ஓட்டம் | 0~100 மி.லி/நிமிடம் |
| காற்று மூல அழுத்தம் | ≥0.2MPa |
| இடைமுகத்தின் அளவு | 1/8 அங்குல உலோகக் குழாய் |
| பரிமாணங்கள் | 740மிமீ (நீளம்) × 415மிமீ (அகலம்) × 430மிமீ (உயரம்) |
| மின்னழுத்தம் | AC 220V 50Hz |
| நிகர எடை | 50 கிலோ |