தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்:
| பொருள் | அளவுருக்கள் |
| மாதிரி | YY-E1G |
| அளவிடும் வரம்பு (படம்) | 0.02~40 கிராம்/(மீ2·24 மணி)(படங்கள் மற்றும் தாள்கள்) |
| மாதிரி அளவு | 1 |
| தீர்மானம் | 0.001 கிராம்/(மீ2·நாள்) |
| மாதிரி அளவு | 108மிமீ×108மிமீ |
| சோதனைப் பகுதி | 50 செ.மீ2 |
| மாதிரி தடிமன் | ≤3மிமீ |
| சோதனை முறை | ஒற்றை குழி |
| வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு வரம்பு | 5℃~65℃(தெளிவுத்திறன் விகிதம்±0.01℃) |
| வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் | ±0.1℃ |
| ஈரப்பதம் கட்டுப்பாட்டு வரம்பு | 0%ஆர்ஹெச், 35%ஆர்ஹெச்~90%ஆர்ஹெச், 100%ஆர்ஹெச் |
| ஈரப்பதம் கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் | ±1% ஈரப்பதம் |
| கேரியர் வாயு | 99.999% உயர் தூய்மை நைட்ரஜன் (பயனரால் வழங்கப்பட்ட காற்று மூலம்) |
| கேரியர் வாயு ஓட்டம் | 0~100மிலி/நிமிடம் (தானியங்கி கட்டுப்பாடு) |
| காற்று மூல அழுத்தம் | ≥0.28MPa/40.6psi |
| இடைமுக அளவு | 1/8″ |
| அளவுத்திருத்த முறை | நிலையான படல அளவுத்திருத்தம் |
| பரிமாணங்கள் | 350மிமீ (எல்)×695மிமீ (அமெரிக்கா)×410மிமீ (அமெரிக்கா) |
| எடை | 60 கிலோ |
| வாக்குரிமை | ஏசி 220V 50Hz |