முக்கிய தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்:
1. மின்சாரம் வழங்கல் மின்னழுத்தம்: ஏசி (100 ~ 240) வி, (50/60) ஹெர்ட்ஸ் 50W
2. வேலை செய்யும் சூழல் வெப்பநிலை: (10 ~ 35) ℃, உறவினர் ஈரப்பதம் ≤ 85%
3. காட்சி: 7 அங்குல வண்ண தொடுதிரை
4. அளவீட்டு வரம்பு: (0 ~ 4) மிமீ
5. தீர்மானம்: 0.0001 மிமீ
6. குறிக்கும் பிழை: ± 1um
7. மதிப்பு மாறுபாடு: ± 1um
8. தொடர்பு பகுதி: 50 மிமீ²
9. தொடர்பு அழுத்தம்: (17.5 ± 1) கே.பி.ஏ.
10. ஆய்வு துளி வேகம்: (0.5 ~ 10) மிமீ/வி சரிசெய்யக்கூடியது
11. அச்சு: ஒரு வெப்ப அச்சுப்பொறி
12. தகவல்தொடர்பு இடைமுகம்: RS232 (இயல்புநிலை) (யூ.எஸ்.பி, வைஃபை விருப்பமானது)
13. ஒட்டுமொத்த பரிமாணங்கள்: 360 × 245 × 430 மிமீ
14. கருவியின் நிகர எடை: 27 கிலோ