தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்
| உருப்படி | அளவுரு |
| மாதிரி | YY311-AE3 |
| அளவிடும் வரம்பு (படம்) | 0.01 ~ 40 g/(m2 · நாள்) (தரநிலை) 0.1 ~ 1000 கிராம்/(மீ 2 · நாள்) (விரும்பினால்) |
| மாதிரி அளவு | 3 (விருப்பங்கள் 1) |
| தீர்மானம் | 0.001 கிராம்/(எம் 2 · நாள்) |
| மாதிரி அளவு | Φ108 மிமீ |
| பரிமாணத்தை அளவிடுதல் | 50 செ.மீ.2 |
| மாதிரி தடிமன் | ≤3 மிமீ |
| சோதனை முறை | சுயாதீன தரவுகளுடன் மூன்று அறைகள் |
| வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு வரம்பு | 15 ℃~ 55 ℃ (தீர்மானம் ± 0.01 ℃) |
| வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் | ± 0.1 |
| ஈரப்பதம் கட்டுப்பாட்டு வரம்பு | 0 ~ 100%RH |
| ஈரப்பதம் கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் | ± 1%RH |
| கார் வாயு | 99.999%உயர் தூய்மை நைட்ரஜன் (காற்று மூலமானது பயனரால் தயாரிக்கப்படுகிறது |
| கேரியர் வாயு ஓட்டம் | 0 ~ 200 மிலி/நிமிடம் (முழு தானியங்கி கட்டுப்பாடு |
| காற்று மூல அழுத்தம் | ≥0.28MPA/40.6psi |
| துறைமுக அளவு | 1/8 |
| பயன்முறையை சரிசெய்யவும் | நிலையான படம் சரிசெய்தல் |
| ஹோஸ்ட் அளவு | 350 மிமீ (எல்) × 695 மிமீ (டபிள்யூ) × 410 மிமீ (எச்) |
| ஹோஸ்ட் எடை | 60 கிலோ |
| மின்சாரம் | ஏசி 220 வி 50 ஹெர்ட்ஸ் |