தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்
| உருப்படி | அளவுரு |
| மாதிரி | YY310-D3 |
| அளவிடும் வரம்பு (படம்) | 0.01 ~ 6500 (cc/㎡.24h) |
| தீர்மானம் | 0.001 |
| ஊடுருவக்கூடிய பரிமாணம் | 50 C㎡ (மற்றவர்கள் தனிப்பயனாக்கப்படலாம் |
| மாதிரி தடிமன் | <3 மிமீ the தடிமனான மாதிரி பாகங்கள் தேவை |
| மாதிரி அளவு | 3 (விருப்பங்கள் 1) |
| சோதனை முறை | சுயாதீன சென்சார் |
| வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு வரம்பு | 15 ℃~ 55 ℃ the வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அலகு தனித்தனியாக வாங்கப்படுகிறது |
| வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் | ± 0.1 |
| கார் வாயு | 99.999%உயர் தூய்மை நைட்ரஜன் (காற்று மூலமானது பயனரால் தயாரிக்கப்படுகிறது |
| கேரியர் வாயு ஓட்டம் | 0 ~ 100 மில்லி/நிமிடம் |
| காற்று மூல அழுத்தம் | .0.2MPA |
| துறைமுக அளவு | 1/8 அங்குல உலோக குழாய் |
| பரிமாண அளவு | 740 மிமீ (எல்) × 415 மிமீ (டபிள்யூ) × 430 மிமீ (எச்) |
| மின்சாரம் | ஏசி 220 வி 50 ஹெர்ட்ஸ் |
| நிகர எடை | 50 கிலோ |